Ferdampingscoating: Troch in bepaalde stof te ferwaarmjen en te ferdampen om it op it fêste oerflak te deponearje, wurdt it ferdampingscoating neamd.Dizze metoade waard foar it earst foarsteld troch M. Faraday yn 1857, en it is wurden ien fan de
faak brûkte coating techniken yn moderne tiden.De struktuer fan 'e apparatuer foar ferdampingscoating wurdt werjûn yn figuer 1.
Ferdampte stoffen lykas metalen, ferbiningen, ensfh. wurde pleatst yn in kroes of hong oan in hite tried as de ferdamping boarne, en it wurkstik te plated wurde, lykas metaal, keramyk, plestik en oare substraten, wurdt pleatst foar de kroes.Nei't it systeem evakuearre is nei in hege fakuüm, wurdt de kroes ferwaarme om de ynhâld te ferdampen.De atomen of molekulen fan 'e ferdampte stof wurde op in kondinsearre manier op it oerflak fan it substraat dellein.De dikte fan 'e film kin fariearje fan hûnderten angstroms oant ferskate mikrons.De dikte fan 'e film wurdt bepaald troch de ferdampingsfrekwinsje en tiid fan' e ferdampingsboarne (of it laden bedrach), en is relatearre oan de ôfstân tusken de boarne en it substraat.Foar coatings mei grut gebiet wurde in rotearjend substraat as meardere ferdampingsboarnen faak brûkt om de uniformiteit fan 'e filmdikte te garandearjen.De ôfstân fan 'e evaporaasjeboarne nei it substraat moat minder wêze as it gemiddelde frije paad fan dampmolekulen yn it oerbliuwende gas om foar te kommen dat de botsing fan dampmolekulen mei oerbliuwende gasmolekulen gemyske effekten feroarsaakje.De gemiddelde kinetyske enerzjy fan dampmolekulen is sa'n 0,1 oant 0,2 elektroanenvolt.
D'r binne trije soarten evaporaasjeboarnen.
① Resistance ferwaarming boarne: Brûk fjoerwurk metalen lykas wolfraam en tantaal te meitsjen boat folie of gloeitried, en tapasse elektryske stroom te ferwaarmjen de ferdampte stof boppe it of yn 'e kroes (figuer 1 [Skematysk diagram fan ferdamping coating apparatuer] fakuüm coating) Resistance ferwaarming boarne wurdt benammen brûkt om materialen lykas Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni te ferdampen;
②High-frekwinsje ynduksje ferwaarming boarne: brûk hege-frekwinsje ynduksje stream te ferwaarmjen de kroes en evaporaasje materiaal;
③Electron beam ferwaarming boarne: fan tapassing Foar materialen mei hegere ferdamping temperatuer (net leger as 2000 [618-1]), it materiaal wurdt ferdampt troch bombardemint fan it materiaal mei elektroanen balken.
Yn ferliking mei oare fakuümcoatingmetoaden hat evaporative coating in hegere ôfsettingssnelheid, en kin wurde bedekt mei elemintêre en net-thermysk ûntbûne gearstalde films.
Om in ienkristalfilm mei hege suverens te deponearje, kin molekulêre beamepitaksy brûkt wurde.De molekulêre beam epitaksy apparaat foar groeiende dotearre GaAlAs single crystal laach wurdt werjûn yn figuer 2 [Skematysk diagram fan molekulêre beam epitaksy apparaat vacuum coating].De jetofen is foarsjoen fan in molekulêre beamboarne.As it wurdt ferwaarme ta in bepaalde temperatuer ûnder ultra-hege fakuüm, de eleminten yn 'e oven wurde útstutsen nei it substraat yn in beam-like molekulêre stream.It substraat wurdt ferwaarme ta in bepaalde temperatuer, de molekulen ôfset op it substraat kinne migrearje, en de kristallen wurde groeid yn 'e folchoarder fan' e substraat crystal lattice.Molekulêre beam epitaksy kin brûkt wurde om
krije in hege suverens gearstalde single crystal film mei de fereaske stoichiometryske ferhâlding.De film groeit it stadichst De snelheid kin wurde regele op 1 inkele laach / sek.Troch it kontrolearjen fan de baffle kin de ienkristalfilm mei de fereaske komposysje en struktuer krekt makke wurde.Molekulêre beam-epitaxy wurdt in protte brûkt om ferskate optyske yntegreare apparaten en ferskate superlattice-struktuerfilms te meitsjen.
Post tiid: Jul-31-2021